表面平整度高:为减少信号散射,电镀层需具备的表面平整度,特别是在微带线、共面波导等结构中,通常要求镀层表面粗糙度 Ra<0.5μm。
前处理:包括除油、微蚀等步骤,去除基板表面的有机物和氧化层,粗化表面以提高镀层附着力。对于罗杰斯等特殊基材,可能还需要进行等离子体处理。
种子层沉积:采用化学镀或物相沉积(PVD)方法,在基板表面形成一层薄的导电种子层,通常为铜或镍,厚度约 0.1-0.5μm。
工艺适配相关故障
线路桥连 / 短路:超细线路(≤10μm 线宽)间出现镀层粘连,多因光刻胶显影不彻底、电镀时金属离子过度沉积,或镀液整平性差。
盲孔 / 埋孔填充不良:孔内出现空洞、凹陷,影响层间导通和散热。成因是镀液流动性不足、电流密度未针对深宽比优化,或添加剂中整平剂含量不足。
基材损伤:特殊基材(如 PTFE)出现翘曲、开裂,多因电镀温度过高(超过基材耐热极限),或前处理化学药剂腐蚀基材表面。
基材预处理:奠定结合与信号基础
先进行除油脱脂,用碱性或中性清洗剂去除基材表面油污、指纹,避免影响镀层附着力。
针对 PTFE、罗杰斯等特殊基材,需额外做等离子体活化 / 化学粗化,提升表面活性与粗糙度。
通过微蚀 + 水洗,去除表面氧化层,同时形成均匀微观粗化面,增强后续种子层结合力。

